排气滤芯731401-0000,Elmo Rietschle
Gardner Denver里其乐(Rietschle)真空泵 VC系列
油扩散泵是获得超高真空的重要泵种，但必须很好的解决污染问题，否则无法获得超高真空。
扩散泵系统的污染主要来自扩散泵油的返流，机械泵油的返流以及扩散泵油加热分解的永久性气体，如
氢、甲烷、乙烷等的返流。扩散泵油的返流原因、影响及防止，分解产生的永久性气体用液炭冷阱是无
益的，应使用钛升华阱，排气滤芯731630-0000，使用钛升华阱可得到10-9Pa的真空度。
减少机械泵油的返流有三种方法：
1，在粗抽管道中加液炭冷阱，排气滤芯731401-0000，是一种最有效的方法；
2，0，粗抽管道上安装充气阀，冲入干燥碳气，使真空式保持到15~30Pa；
3，不用粗抽管道，通过扩散泵进行粗抽。
里其乐真空泵散热油管
超高真空主要用于表面研究、热核反应、高能加速器、半导体研究、空间模拟等科学领域中。目前超高
真空实用真空度可达10-12Pa。
超高真空系统都是根据工艺要求由用户自行设计或委托制造厂商特殊厂商特殊加工制造的，很难买到适
合用户要求的成套超高真空机组。超高真空系统的选泵、选材、选阀门和选密封结构等要求严格；焊接
加工结构和方法与常规不同；要求漏气率和放气漏比普通真空系统要低；抽真空时还要采用烘烤措施等
。
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