里其乐真空泵VTE8碳片_里其乐真空泵_Rietschle

Gardner Denver里其乐(Rietschle)真空泵    VC系列

油扩散泵是获得超高真空的重要泵种，里其乐真空泵VTE8碳片，但必须很好的解决污染问题，否则无法获得超高真空。

扩散泵系统的污染主要来自扩散泵油的返流，机械泵油的返流以及扩散泵油加热分解的永久性气体，如

氢、甲烷、乙烷等的返流。扩散泵油的返流原因、影响及防止，分解产生的永久性气体用液炭冷阱是无

益的，应使用钛升华阱，使用钛升华阱可得到10-9Pa的真空度。

减少机械泵油的返流有三种方法：

1，在粗抽管道中加液炭冷阱，里其乐真空泵DVT80碳片，是一种最有效的方法；

2，里其乐真空泵KLT40碳片，粗抽管道上安装充气阀，岳阳里其乐真空泵，冲入干燥碳气，使真空式保持到15~30Pa；

3，不用粗抽管道，通过扩散泵进行粗抽。

里其乐Rietschle真空泵：VCA25/VCA40/VCE25/VCE40/VGD10/VGD15/VTN10/VTN15/VTN25/VTN40/DLT10/DLT15/DLT25/DLT40/DTA50/DTA60/DTA80/DTA100/DTA140/KLT/15/KLT25/KLT40  

涡轮分子泵内表面积大，烘烤出气是非常必要的。由于结构限制，一般只允许烘烤到足够大的抽速，使

涡轮分子泵转速达到额定转数的75%时，就能将真空室抽到20~200Pa。一般涡轮分子泵的加速时间为

5~10min，这意味着机械泵排气时间必须小于这个范围。