真空镀膜(图)、立式真空镀膜机、丽水市真空镀膜机

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真空镀膜设备中泵的使用、原理简介、存在问题、及解决方法：

成膜控制系统 薄膜监－控目前应用方式比较多，主要有：目视监－控法，定（极值）值监－控、水晶振荡监－控、时间监－控等等。本人主要介绍目视监－控、定（极值）监－控和水晶振荡监－控三种。 目视监－控也叫直接监－控，就是采用眼睛监－控，因为薄膜在生长的过程中，由于干涉现象会有颜色变化，我们就是根据颜色变化来控制膜厚度的，此种方式有一定的误差，所以不是很准确，立式真空镀膜机，需要依靠经验。 定值（极值）监－控：主要是采用反射式（透过式）光学监－控。极值监－控法：当膜厚度增加的时候其反射率和穿透率会跟着起变化，当反射率或穿透率走到极值点的时候，就可以知道镀膜之光学厚度ND是监－控波长（入）的四分之一的整数倍。但是极值的方法误差比较大，因为当反射率或者透过率在极值附近变化很慢，亦就是膜厚ND增加很多，R/T才有变化。反映比较灵敏的位置在八分之一波长处

 

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真空镀膜设备使用、存在问题、及解决方法：

化学成分编辑

薄膜均匀性概念

1.厚度上的均匀性，也可以理解为粗糙度，丽水市真空镀膜机，在光学薄膜的尺度上看（也就是1/10波长作为单位，约为100A），真空镀膜的均匀性已经相当好，可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内，三门真空镀膜机，也就是说对于薄膜的光学特性来说，真空镀膜没有任何障碍。 但是如果是指原子层尺度上的均匀度，也就是说要实现10A甚至1A的表面平整，塑料件机壳真空镀膜机，具体控制因素下面会根据不同镀膜给出详细解释。

2.化学组分上的均匀性： 就是说在薄膜中，化合物的原子组分会由于尺度过小而很容易的产生不均匀特性，SiTiO3薄膜，如果镀膜过程不科学，那么实际表面的组分并不是SiTiO3，而可能是其他的比例，镀的膜并非是想要的膜的化学成分，这也是真空镀膜的技术含量所在。 具体因素也在下面给出。

3.晶格有序度的均匀性： 这决定了薄膜是单晶，多晶，非晶，是真空镀膜技术中的热点问题，具体见下

 

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