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电容真空规

电容式真空规的两个带固定电极的（Al203）陶瓷膜片形成的板式电容器，当两块电容器板之间的距离发生变化时，电容随之发生变化（变化与压强成正比）。通过电气元件将压强转换成对应的电气测量信，就可以显示真空读数了。和普通膜片真空规相同，LVO420真空泵油，由抽空参考室作为测量压强的参考。电容真空规可地测量范围从10-5 mbar/Torr 到远高于大气压的压强（单一的电容薄膜规的量程通常为4个数量级）。

安装和连接

在连接TRIVAC? C泵前，真空泵油， 请将连接法兰上的运输封盖卸下。

当安装TRIVAC? C泵时， 要确保容易进入操作连接件和控制件， 泵的安装位置应选

择有足够的循环空气来冷却泵， 环境温度应不超过＋40。C ， 也不低于＋10。c

泵可放置于平坦的水平地面上， 不需要与地面固定， 连接管道（进气管和排气管）

的截面至少应与泵的连接口尺寸相同。 如果进气管太窄将会降低抽速， 如果排气管

道太细或太长， 在进气压强过高之情况下， 泵中可产生过压， 这将会导致轴封损坏

和漏油。 为防止过压， 可在排气管道的末端安装排气风扇或使用短而粗的排气管

道。

如果这些物质超过泵的蒸气允许压强， 避免蒸汽在泵内压缩时凝结成液体。

在抽水蒸气前TRIVAC C应达到其工作温度， 这将是启动泵约30分钟后。在升温过程中， 泵应与系统分开， 例如可关闭入口管道的截止闹。

在湿法工艺的情况下，LVO400真空泵油， 我们建议在泵的上游和下游的安装液体分离器， 以及使用气镇。

排气管道应斜向下敷设， 以防止冷凝水回流进泵。

在任何情况下都必须避免颗粒和液体进入泵。

在泵腔内的活性或腐蚀性物质， 可能会损害泵油或使之改性。此外， 这种物质可能与泵的材质（氟攘胶，N62H真空泵油， 灰铸铁， 铝， 钢， 树脂， 破璃等） 不相容。

Leybold莱宝真空泵

SV16/SV25/SV200/SV300/SV1200/D8/D16/D40/D65/SV10/SV40/SV65/SV100/SV120/SV470/SV500/SV570/SV630/SV750/D8C/D16D/D30C/D40C/D60C/D40T/D60T