油扩散泵真空系统污染与防治
油扩散泵真空系统是运用最普遍的真空系统,其获得真空度范围为1.3×10-3 ~1.3×10-5 Pa。油扩散泵真空系统构成的各类真空
装置,长期运用后,常见的缺点是真空度抽不上去,干式无油螺杆真空泵,或真空度抽不到原来的极限真空水平。与真空室内壁的油蒸气污染、真空工艺
过程各种污染物的污染有关,无油干式螺杆真空泵,防止的办法是:
(1 )定期清洗真空室;
(2 )定期对油封机械真空泵和油金属扩散泵中止清洗。
了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,螺杆真空泵,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,干式螺杆真空泵厂家,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。
真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
真空泵的价格、运转及维修费用。