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真空箱式氦检漏系统【系统工作原理及流程】

系统工作原理及流程:

系统工作原理、检漏、氦气回收、系统工作流程图

（氦气回收）

微漏检测合格后，自动进入回收程序。充氦回收系统工作流程见图七。充氦过程为：对被检工件抽空后，开V1，对工件充氦气到规定压力后关V1。检完漏后，V2开，工件内氦气自动流入回收罐。然后V2关，V3开，机械泵抽出工件内剩余氦气并送入回收罐。同时主压缩机将回收罐内的氦气压缩至储气罐。因为不可能完全回收（回收率高于95%），所以当储气罐内压力或浓度低于规定值时，需开V6，真空箱式氦检漏设备，补充氦气，真空箱式氦检漏设备生产厂家，以保持储气罐内的氦气有足够的压力和浓度。

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真空箱式氦检漏系统【系统工作原理及流程】

系统工作原理及流程:

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（系统工作流程）

真空箱式氦检漏系统工作流程：首先将待检工件放入检漏系统的真空箱，然后关上箱门，接下来进行抽真空程序，抽到要求标准后，对工件进行检测，检测出合格和非合格的产品后，分情况进行处理，最后进行氦气的回收，开箱门取工件。

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真空箱式氦检漏系统工作流程图如下图所示：

真空箱式氦检漏系统[机械系统部分]

科仪创新-以创新为理念。使产品与技术达到国内先进水平，形成了具有自主知识产权的较完整的真空产品产业链。产品和技术广泛应用于新能源、新材料、电子、电力、航空航天、半导体、超导、离子、IC装备、科研、节能环保等领域。科仪创新-以技术为保障。公司汇聚了国内真空行业的专家、专业技术人员和专业的管理团队，他们熟悉真空、机械、高温、低温、镀膜、材料、检漏和自动化控制等专业，也深知现代高新技术企业的内涵，为客户提供完善的技术保障。

机械系统主要由以下四个单元构成：真空箱单元、充氦气回收单元、检漏单元、清氦单元。

1.1真空箱单元

真空箱单元由真空箱、真空泵组、真空测量装置、真空阀、执行装置及不锈钢管道等组成。

真空箱：采用不锈钢材质制造，真空箱式氦检漏设备哪家好，其内表面在加工后经抛光和清洗处理，保证了良好的本底和极少的藏气，提高了真空箱的抽空效率。

1.2 充氦气回收单元

充氦气回收部分主要包括储气(高压)罐、回收(低压)罐、压缩机、真空泵、电磁阀、真空阀、压力传感器、真空计和管道等组成。能在设定的时间内对工件进行抽空、充氦气和氦气回收等处理。

1.3 检漏单元

真空箱式氦检漏系统机械系统部分的氦检漏单元，氦质谱检漏仪采用进口产品，自动校准漏孔。技术成熟，性能稳定，安装维护方便，真空箱式氦检漏设备价格，使其和真空箱连接更加协调紧密。

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