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太阳电池经过制绒、扩散及PECVD等工序后,已经制成PN结,可以在光照下产生电流,为了将产生的电流导出,需要在电池表面上制作正、负两个电极。制造电极的方法很多,而丝网印刷是目前制作太阳电池电极最普遍的一种生产工艺。丝网
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通过氟和氧交替对硅作用,去除含有扩散层的周边。扩散后清洗的目的是去除扩散过程中形成的磷硅玻璃。6、 沉积减反射层:沉积减反射层的目的在于减少表面反射,增加折射率。广泛使用PECVD淀积SiN ,路灯拆卸太阳能组件回收,由于PECVD淀积SiN时,不光是生长SiN作为减反射膜,脏太阳能组件回收,同时生成了大量的原子氢,这些氢原子能对多晶硅片具有表面钝化和体钝化的双重作用,可用于大批量生产。
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