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本文的目标是通过对高速、低张力等极端情况下张力控制的分
析研究,找到一套合适的张力控制模式,设计出一套用于高端电容金
属化膜生产的卷绕张力控制系统,并在锌铝复合超薄电容膜设备中
得到成功应用.联系本文的研究目标,首先确定放卷和收卷均采用全自动闭环式直接张力控制方式.该系统包括三部分:放膜张力控制、主辊速度控制、收膜张力控制.图2 3是卷绕系统构成简图.想了解更多离子真空镀膜机|金属表面镀膜机|真空镀膜机设备请联系佛山市佛欣真空设备有限公司
膜厚均匀度是衡量薄膜质量和镀膜设备性能的一项重要指标。对于
磁控溅射镀膜,由于其电磁场不均匀,镀膜机,尤其是磁场的不均匀分布造成不
均匀的等离子密度,导致靶原子的不均匀溅射和不均匀的沉积。因此,
存在着膜厚不均匀的问题。可以采取措施使膜厚均匀度满足要求。根据
镀膜产品的需要,镀膜机,膜厚均匀性程度的要求会有所不同。想了解更多离子真空镀膜机|金属表面镀膜机|真空镀膜机设备请联系佛山市佛欣真空设备有限公司
真空镀膜技术在电子学等方面开始主要是用来制造电阻
和电容元件,但是随着半导体技术在电子学领域中的大量应
用,真空镀膜技术就成了晶体管制造和集成电器生产的必要工
艺手段。
我们知道,电子显微镜能揭开微观世界的奥秘,但其标本必须
经真空镀膜处理才能观察,激光技术的心脏———激光器需要镀上
精密控制的光学膜层才能使用,太阳能的利用也与真空镀膜技术
息息相关。
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