工作环境要求:
1 环境温度要求:15℃-30℃
2 环境相对湿度:<70%
3 工作电源:交流220±5V
4 周围不能有强电磁干扰。
5 Max功率 :330W
6 外形尺寸 :550 mm x 480mm x 470 mm (长x宽x高)
7 样品仓尺寸 :500mm×360 mm ×215mm (长x宽x高)
8 仪器重量 :55kg
9 分析软件EFP,可同时分析23层镀层,24种元素,小样品测厚仪,不同层有相同元素也可分析
10 软件操作人性化封闭软件,自动提示校正和步骤,避免操作错误
11 X射线装置:W靶微聚焦加强型射线管
统计计算功能平均值、标准偏差、相对标准偏差、max值、min值、数据变动范围、CP、数据编号、CPK、控制上限图、控制下限图数据分组、X-bar/R图表直方图数据库存储功能
-系统安全监测功能Z轴保护传感器样品室门开闭传感器操作系统多级密码操作系统:操作员、分析员、工程师-任选软件统计报告编辑器允许用户自定义多媒体报告书液体样品分析,如镀液中的金属元素含量材料鉴别和分类检测材料和合金元素分析贵金属检测。
薄膜是指在基板的垂直方向上所堆积的1~104的原子层或分子层。在此方向上,薄膜具有微观结构。
理想的薄膜厚度是指基片表面和薄膜表面之间的距离。由于薄膜仅在厚度方向是微观的,其他的两维方向具有宏观大小。所以,表示薄膜的形状,一定要用宏观方法,测厚仪,即采用长、宽、厚的方法。因此,膜厚既是一个宏观概念,又是微观上的实体线度。
由于实际上存在的表面是不平整和连续的,而且薄膜内部还可能存在着针孔、杂质、晶格缺陷和表面吸附分子等,复合镀层测厚仪,所以,要严格地定义和测量薄膜的厚度实际上是比较困难的。膜厚的定义应根据测量的方法和目的来决定。
经典模型认为物质的表面并不是一个抽象的几何概念,而是由刚性球的原子(分子)紧密排列而成,锌镍合金测厚仪,是实际存在的一个物理概念。
形状膜厚:dT是最接近于直观形式的膜厚,通常以um为单位。dT只与表面原子(分子)有关,并且包含着薄膜内部结构的影响;
质量膜厚:dM反映了薄膜中包含物质的多少,通常以μg/cm2为单位,它消除了薄膜内部结构的影响(如缺陷、针孔、变形等);
物性膜厚:dP在实际使用上较有用,而且比较容易测量,它与薄膜内部结构和外部结构无直接关系,主要取决于薄膜的性质(如电阻率、透射率等)。