EDX是借助于分析试样发出的元素特征X射线波长和强度实现的, 根据不同元素特征X射线波长的不同来测定试样所含的元素。通过对比不同元素谱线的强度可以测定试样中元素的含量。通常EDX结合电子显微镜使用,可以对样品进行微区成分分析。
常用的EDX探测器是硅渗锂探测器。当特征X射线光子进入硅渗锂探测器后便将硅原子电离,产生若干电子-空穴对,其数量与光子的能量成正比。利用偏压收集这些电子空穴对,经过一系列转换器以后变成电压脉冲供给多脉冲高度分析器,并计数能谱中每个能带的脉冲数。
{
一、简单原理
每个元素受高能辐射激发,即发射出具有一定特征的X射线谱线。通过软件测试分析得出该谱线波长,即可知道是那种元素(定性);通过分析测试其强度,得出该元素含量(定量)。X荧光光谱分析是一种非常常见的分析技术,
二、应用领域
X荧光光谱仪作为一种常见的分析技术手段,在现实生活中有着非常广泛的应用,主要可以分为以下四大类:
1.镀层行业
电镀行业尤其以工业电镀为主,在工业生产中,通常我们为了产品尤其是金属类能达到一定的性能会在其表面镀上另一种金属,这种金属电镀的膜厚往往是受管控,而X荧光光谱仪就是其best的管控者。
2.重金属检测
我们的衣服帽子、喝水的杯子、小孩的玩具等等这些都跟我们有着紧密的关联,但这其中也许就含有对我们人体是有害的重金属,测厚仪,如Cr、Br、Cl、Pb、Hg、Cd、As等长期接触会导致人体的病变甚至死亡,为了使用安全,工业生产时需对产品重金属检测管控(RoHS检测),涂镀层测厚仪,而X荧光仪器就能对其进行监测。
3.元素成分分析
元素成分分析应用也是更加广泛,如岩石矿产的开发开采,钢铁、铜合金、铝合金等可能因某一种元素的含量不同就会大大改变其物理性质,为达到这种物理性质就需要控制相关元素的含量,通过X荧光仪器的检测就可以很好的生产出我们所需的物品,另外还可以利用成分分析原理对珠宝首饰进行真假鉴定。
4.古董的检测
X荧光仪器在古董的检测鉴定上也起着重要的作用,通过仪器检测对产品进行定性分析可得其元素成分,从而对产品的年限进行一个判断,达克罗测厚仪,得出结论。
X荧光镀层测厚仪标准片选择与使用
1.一般要求
使用可靠的参考标准块校准仪器。最后的测量不确定度直接取决于校准标准块的测量不确定度和测量精度。
参考标准块应具有的已知单位面积质量或厚度的均匀的覆盖层,凹槽测厚仪,如果是合金,则应知其组成。参考标准块的有效或限定表面的任何位置的覆盖层不能超过规定值的±5%.只要用于相同的组成和同样或已知密度的覆盖层,规定以厚度为单位(而不是单位面积质量)的标准块,将是可靠的。合金组成的测定,校准标准不需要相同,但应当已知。
金属箔标准片。如果使用金属箔贴在特殊基体表面作标准片,就必须注意确保接触清洁,无皱折纽结。任何密度差异,除非测量允许,否则必须进行补偿后再测。
2.标准块的选择
可用标准块的单位面积厚度单位校准仪器,厚度值必须伴随着覆盖层材料的密度来校正。标准片应与被测试样具有相同的覆盖层和基体材料,但对试样基材为合金成分的,有些仪器软件允许标样基材可与被测试样基材不同,但前提是标准块基体材料与试样基材中的主元素相同。
3.标准块的X射线发射(或吸收)特性及使用
校正标准块的覆盖层应与被测覆盖层具有相同的X射线发射(或吸收)特性。
如果厚度由X射线吸收方法或比率方法确定,则厚度标准块的基体应与被测试样的基体具有相同的X射线发射特性,通过比较被测试样与校正参考标准块的未镀基体所选的特征辐射的强度,然后通过软件达到对仪器的校正。