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真空热蒸发镀膜工艺

OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。

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手套箱的分类包含这三种

手套箱依照用途分为三类：

1、惰性气体手套操作箱;

2、阻隔手套箱;

3、厌1氧手套箱。

一、惰性气体手套操作箱按树立惰性气体氛围的机理不同也能够分为三类：

1、 真空手套箱：选用抽真空—充惰性气体的方法树立惰性气体氛围;

2、 循环净化手套箱：具有循环除氧除水除有机1溶剂的深度自主净化功用的手套箱，是目前先进的惰性气体手套操作箱;

3、 洗气手套箱：操作箱选用一边通入惰性气体一边排除气体的方法将箱体内的有害气体赶到手套箱外，这个过程俗称“洗气”，然后不断地下降箱体内水氧含量;

二、阻隔手套箱，是为了阻隔有害物质对人体及特定物体的伤害。依照阻隔方法可分为二类：

1、粉尘阻隔手套箱：一般对粉尘类物质进行阻隔

2、负压阻隔手套箱：一般对有害气体选用负压阻隔

三、厌氧手套箱，是用来培育厌1氧菌，并进行相关研讨的手套箱，多用于食品、药品的厌1氧菌研讨。

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艾明坷手套箱特点

1.整个生产、销售、售后过程实现了信息化（ERP）、系统化的管理，对生产的过程可以随时监管，确保产品质量稳定，钙钛矿专用手套箱多少钱，交货准时，服务快捷。

2.生产批量大，实现了规模化，标准化，模块化的设计和生产，年产1800多台；规模化的生产实现了零件的批量性采购，确保了产品质量的一致性；标准化实现了零件的通用和互换，减少了零件种类，简化了生产过程，提高了产品的可靠性；模块化使整个生产装配过程简化而有序。这些都确保了产品质量稳定可靠。

3.产品种类齐全，可以按照客户要求定制；可以根据用户需要集成有机1溶剂吸附器、冰箱、加热炉、显微投影系统、加装冷阱、低温浴槽、溶剂净化系统、除尘系统、增压系统、蒸发台、甩胶机和真空炉等；对锂电行业可以加装除氮装置，除氢1氟酸和CO2装置等。

4.生产装备先进、完备；三台大型龙门加工中心，两台大型卧式加工中心，数控车削中心，焊接机器人，数控折弯机，激光切割机，三坐标测量仪，氦质谱检漏仪等，保证产品质量的一致性以及新产品的研发生产周期和质量。

5.严格按德国标准及核行业标准生产制造；产品技术和质量达到或超过国际知名品牌的水平，目前已为PHILIPS、OSRAM（德国）、GE、AIXTRON（德国）、三菱、三洋、PLANSEE等国际知名品牌稳定供货并取得丰富的国际合作经验。

6.露1点分析仪采用P2O5传感器，应用于锂电等腐蚀环境，可通过清洗再生恢复使用，避免一次污染就报废的问题。7.氧分析仪采用ZrO2传感器，避免了燃料电池寿命短，不能暴露在空气中的问题。

8.产品可应用于锂电池研发及生产、物理化学研究、粉末治金、原子核技术、特种焊接、OLED和PLED研究、材料处理、特种灯研发及生产、精细化工、聚合材料等行业。

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