电子净化工程中对车间环境的特殊要求
主要的环境要求:
空气洁净度要求
空气洁净度是表示空气洁净程度的指标,主要有两个指标:空气中尘埃微粒的浓度和空气中尘埃微粒的粒径。空气的洁净度是电子产品、尤其是微电子生产非常重要的条件之一,实验室洁净工程,空气洁净度不达标,会直接对产品或工件造成污染,影响产品的性能、成品率、可靠性及寿命。空气的洁净度主要靠两个方面来保证,一方面建筑密闭性能、易洁性、保温性能是洁净厂房的基本条件,另一方面是在此基础上净化空调等机电系统的共同作用保证空气洁净度达到规定的要求。
净化工程设计要求
1、净化工程设计必须严格按照国家相关政策方针执行,做到科学设计、质量保证、安全适用、节约能源和环境保护等要求。
2、 在利用原有建筑进行洁净技术改造时,车间洁净工程施工,净化工程设计必须根据生产工艺要求,因地制宜、区别对待,充分利用已有的技术设施。
净化工程总体设计
1、应在大气含尘浓度较低,自然环境较好的区域;
2、应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域。如不能远离严重空气污染源时,合肥洁净工程,则应位于其频率风向上风侧,或全年zui小频率风向下风侧。
净化工程设计要求
1、净化工程设计应为施工安装、维护管理、测试和安全运行创造必要的条件。
2、净化工程设计除应按本规范执行外,尚应符合现行的国际标准、规范的有关要求。
3、应布置在厂区内环境清洁、人1流货流不穿越或少穿越的地段。
4、对于兼有微振控制要求的净化工程的位置选择,应实际测定周围现有振源的振动影响,并应与精密设备、精密仪器仪表允许环境振动值进行分析比较。