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罗茨真空泵是一种新型的真空泵，。　　罗茨真空泵在石油、化工、塑料、、汽轮机转子动平衡有着很好的等作用，水环式真空泵，而进行试验也是为了让我们的设备能够不受阻碍的，进行顺利工作，减少对设备的损失、破坏。

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半导体工艺真空主要用在蒸发，溅射，PECVD，真空干法刻蚀， 真空吸附，测试设备，真空清扫等等键合工序，半导体生产制造过程中容易产生以及有毒的物质气体，会对生产及人员安全造成威胁，因此，水环式真空泵保养，半导体水环真空泵应用时需要注意的几个安全事项：　　1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道，避免超压：

半导体真空泵应用时，抽取介质过程中经过反应室与真空泵，其成分可能极为复杂，如SiH4与O2在泵口形成SiO2，2bv水环式真空泵，TiCl4水解会形成HCl；假设是油封式机械泵，这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质，就可能堵塞真空泵或管路系统，影响真空泵性能，造成压力上升或超压，一点中提到的危险性也更大。所以需要及时的清洗，并在必要的时候设置过滤设备。。

真空负压站轴承体的作用

真空负压站是以二台水环真空泵作为真空获得设备，对于整个设备来说轴承体是非常重要的，如果没有这个元件可以设备都无法进行运行，到底元件在设备里是以什么样子存在的呢？下面就给大家介绍 一下设备轴承体的作用：　　1、轴上设有轴肩，这样是为了方便轴承拆装。　　2、径向轴承在泵及电机端，阻止推轴承在电机端。　　3、由于真空负压站无相进行对位移，油封完全属于正常工作。　　4、轴承体可通过螺栓及调节螺栓调节，随意的在悬架内水平移动。　　5、它的轴承体可在悬架内移动，但是轴承内、外环是无法进行相对位移。　　由此可知轴承体在真空负压站起到调节作用，可以通过它来调节一些设备参数，从而达到设备的预想要求，也是设备高能率的基础，所以说我们在日常生活中要做好保养和维护，防止设备受到伤害。