工作台面采用整体花岗岩结构,在传统闭式静压导轨的基础上开发了高刚性、高精度的大平面闭式静压导轨,以实现工作台的大行程、平稳、可靠的往复运动。 工作台采用直线电机进行驱动,同时为了防止直线电机的运动影响台面,专门为直线电机设计了独立的静压导轨。台面的运动状态由光栅系统进行闭环控制,从而保证了工作台具有高精度、快速响应的运动特性。
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