科探1英寸晶圆探针台

微型探针台主要应用于传感器 半导体探针台主要应用于传感器，半导体，光电，集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。 探针台主要应用于传感器，半导体，光电，集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。 该探针台的承载台为26X26mm不锈钢台面，台面可升温到350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节，其中X方向调节范围：0-13mm,y方向调节范围：0-13mm；z方向调节范围：0-13mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测 主要技术要求微型探针台主要应用于传感器 半导体 1． 类型：高温型：室温～350℃ 低温型 -190℃:350℃ 低温型：室温到-190℃ 2． 腔体材质：304不锈钢 3． 腔体内尺寸：φ90x40mm 4． 腔体上视窗尺寸：Φ42mm（选配凹视窗Φ22mm） 5． 腔体抽气口：KF16 6． 腔体进气口：公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选 7． 腔体出气口：公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选 8． 腔体正压：≤0.05MPa 9． 腔体真空度：机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟） 10． 样品台材质：304不锈钢 11． 样品台尺寸：26X26mm 12． 样品台-视窗 距离：30mm（可选凹视窗间距15mm） 13． 样品台测温传感器：*级PT100铂电阻 14． 样品台温度：室温到350℃（可选高低温样品台 高温350℃低温-190℃） 15． 样品台测温误差：±0.2℃ 16． 样品台变温速率：高温10℃/min 低温5℃/min 最大值 17． 温度显示：7寸人机界面 18． 温控类型：标准PID温控 +自整定（可选30段编程控温） 19． 温度分辨率：0.1℃ 20． 温控精度：±0.5℃ 21． 温度信号输入类型：PT100热电阻 （可选 K S B型热电偶） 22． 温控输出：直流线性电源加热（液氮流量线性控制液氮制冷） 23． 辅助功能：温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 24． 电信号接头：配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米 25． 电学性能：绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA 26． 探针数量：4探针（可定做6探针） 27． 探针材质：镀金钨针 28． 探针尖：10μm 29． X轴移动行程：12mm ±6mm 30． X轴控制精度：≤5μm 31． Y轴移动行程：12mm ±6mm 32． Y轴控制精度：≤5μm 33． Z轴移动行程：12mm ±6mm 34． Z轴控制精度：≤5μm 35． 显微镜类别：物镜放大+电子放大 36． 显微镜放大倍数：100倍 37． 显微镜工作间距：50-150mm 38． 相机分辨率：1080P 60帧 39． 相机信号输出：HDMI输出+USB输出 40． LED可调光源：LED光源 41． 显示屏：5寸 屏幕一体机