手动测量金相显微镜工具显微镜TMM-2107智庭科技厂家直发
1. 仪器主机说明
TMM-2107是我司针对半导体行业推出的一款高性能的手动测量金相显微镜，结合公司多年影像测量和扫描的生产经验，以及自主研发的三维测量扫描软件，将设备的高性能的特点发挥到**。
l 选用高清品牌相机，措载soptop高端金相系统，整体成像清晰无闪烁，视场开阔。
l 物镜可切换多种倍率：5x,10x,20×,50x(选配)100×(选配),**综合倍率**可达
2000倍以上。
l 标配反射和透射LED可程控光源或非程控卤素光源。
l 利用可变孔径光阑，可进行无衍射观察测量。
l 单视野范围内测量精度±1μm,重复精度±0.5μm加装光谱共焦位移传感器可测高度、
深度、平面度，测量精度±1μm。
l 可根据客户需求，订制各种尺寸工作台，目前*大行程可做3000*2000mm,*小行程可做
50*50mm工作台。
l 有精调/微调两种模式，便于**聚焦和观察测量，快速定位焦面。
l 可根据客户要求加配超长工作距离APO物镜，激光测头各种规格摄像机以及更高精度光
栅等(光尺**选配0.01μm)。
l 自主研发金相测量软件，页面简洁大气，操作方便易上手，可适高精度要求的复杂工件
测量。
2.技术参数
| 扫描范围 | XYZ三轴移动范围（mm） | 200*100*70 | ||
| 外形尺寸（mm） | 520*530*740 | |||
| 玻璃台面尺寸（mm） | 245*145 | |||
| 台面承重（kg） | 25 | |||
| 仪器净重（kg） | 100 | |||
| 光学影像及测量系统 | 光学系统 | 无限远平场消色差金相显微光学模组（3目） | ||
| 金相显微物镜倍率 | 5X | 10X | 20X | |
| 视频总放大倍率 | 241.5X | 483X | 966X | |
| 双目目镜倍率 | 标配10X目镜（视场数Φ22mm），也可选配20X目镜 | |||
| 物方工作距离(mm) | 26.1 | 20.2 | 8.8 | |
| 物方视场(mm) | 1.47*0.98 | 0.735*0.49 | 0.368*0.245 | |
| 照明光源 | 上光：LED同轴落射冷光源（程控调光） 底光：LED平行冷光源（程控调光） 辅光: LED光源（程控调光） | |||
| 摄像机 | HIKVISION 500万像素高清彩色数字相机 | |||
| 示值误差（μm） | 单视野 | ±1 | ||
| XY行程范围 | 2.5+L/200 | |||
| 重复精度（μm） | 单视野 | ±0.5 | ||
| XY行程范围 | 2.5 | |||
| XYZ光栅分辨力（μm） | 1 | |||
| 扫描测量软件 | ZT Vision-M | |||
| 其他选配件 | 光谱共焦位移传感器、激光位移传感器、自动变倍金相显微模组等 | |||
| 电脑 | 联想E95/G3930/4G/1T/集成 | |||
| 工作电源 | AC200-240V 50/60Hz 450W（注：需有电阻≤4Ω接地线） | |||
| 工作环境 | 温度20±2℃, 相对湿30%-80%,振动＜0.002g，低于15Hz， 远离振源 | |||
(武汉市手动测量金相显微镜工具显微镜厂家)
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