function loadjscssfile(filename, filetype){ if (filetype=="js"){ //if filename is a external JavaScript file var fileref=document.createElement(script) fileref.setAttribute("type","text/javascript") fileref.setAttribute("src", filename) } else if (filetype=="css"){ //if filename is an external CSS file var fileref=document.createElement("link") fileref.setAttribute("rel", "stylesheet") fileref.setAttribute("type", "text/css") fileref.setAttribute("href", filename) } if (typeof fileref!="undefined") document.getElementsByTagName("head")[0].appendChild(fileref) }
沉积TiO2—沉积二氧化钛—离子束沉积
采用钛金属靶材和氧气辅助的离子束沉积
低功率工艺: 沉积速率:大于8纳米/分钟
均匀性:在75mm厚的环面上公差小于± 0.5 %在8英寸衬底范围内公差小于± 3 %
高功率工艺: 沉积速率:大于12纳米/分钟
折射率: 2.468(632纳米)
均匀性:在75mm厚的环面上公差小于± 0.5 %
在8英寸衬底范围内公差小于± 3 %