产品功能 对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、共面性、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、蚀刻情况、弯曲变形情况、加工情况、材料支撑率等表面形貌特征进行测量和分析。被测物体的尺寸通常不大于150*100mm,更大尺寸的测量系统可以定做;工作台最大承载重量40Kg。
产品广泛应用于汽车工业、航空航天、造纸工业、钢铁工业、薄膜加工、半导体加工、MEMS等行业。
应用范围 * 机械密封的平面度和粗糙度测量;
* 电子元件表面的平面度、翘曲度和粗糙度测量分析;
* BGA焊料球的共面性、封装是否变形以及所有的焊料球是否都存在的检查分析;
* 造纸行业对纸张表面的纹理分析;
* 膜片的厚度及涂层的高度测量等;
* 化学蚀刻产品的蚀刻深度和面积测量;
* 压花材料表面特征分析,如合成材料人造皮革表面形貌测量分析;
* 丝印装置涂层厚度测量,如电子产品和生物医疗器械等;
* 轧制铝膜和钢板表面情况进行三维分析;
* 法医学上三维表面形貌测量分析;
* 压电陶瓷部件的轮廓和表面形貌特征测量分析;
* 牙齿的腐蚀和磨损情况分析;
* 医学上如人造皮肤的轮廓分析;
* 沟槽深度和截面计算分析;
* 激光蚀刻表面的雕刻深度测量;
* 各种柔软材料、易腐蚀材料、传统接触方式无法检测的产品的表面形态测量和分析;
* 其他各种小型部件的平面度、粗糙度、波纹度和轮廓测量分析。
产品介绍 英国Scantron Industrial Products Ltd公司生产的Proscan 2000光学式表面粗糙度轮廓形貌仪,采用非接触式传感器扫描技术,用于对各种产品和部件的表面形貌特征进行测量和分析,它比传统的探针式轮廓仪操作更方便,测量精度更高。由于采用非接触无损的测量方式,避免了对被测物体造成划痕和磨损,尤其适用于各种柔软材料、易腐蚀材料和传统方式无法检测的表面形态测量和分析。
Proscan 2000光学式表面粗糙度轮廓形貌仪最大扫描速度可达到80mm/秒,每秒2000个数据点,每行可扫描20000个独立的数据点,垂直测量分辨率最高可达到5nm,最小测量范围0-110μm,最大测量范围0-50mm。
Proscan 2000以花岗岩为工作平台,是快速、精准、非接触式的三维表面形态测量仪器。广泛应用于各种表面轮廓和形貌特征精确测量分析的场合。高性能非接触式光学传感器扫面范围是150mm(长)X100mm(宽),使用色差传感器,每秒可测量1000个数据点,使用三角激光传感器每秒可测量10000个数据点,对被测件平面的扫描点数最多可达576万个数据点。配套软件可以对各种测量参数进行分析。
产品特点 * 花岗岩框架结构,受热胀冷缩影响非常小,基本没有振动。
* 配套软件可以以二维或三维的方式对数据进行形貌分析。
* 数据分析结果方便导出,导出格式有ASCII、ZZZZ...LF及XYZLF...CR’a’等。
* 数据分析也可选择二维X-Y平面视图,还具有三点平面修正和自动水平功能。
评定参数 Am 轮廓算术平均值
Ra 轮廓算术平均偏差
Rz(DIN) 峰谷高低平均值
Rz(ISO) 微观不平度十点高度
Rmax 轮廓最大高度
Rp 平均轮廓波峰高度
Rq 粗糙度均值平均方根
Rpm 峰值高度最大值
Rvm 谷值深度最大值
R3z 算术平均第三峰谷间高度
Wt 波形深度总值
Pt 轮廓深度总值
Nr 峰值计数归一
Tpa 材料支撑率(宏)
D 峰值密度
S 轮廓单峰平均间距
Sm 轮廓微观不平度平均间距
Lm 取样长度
共面性
Warpage滤波器,过滤表面粗糙度数据,而仅保留轮廓数据
Surface滤波器,过滤表面轮廓数据,而仅保留粗糙度数据
对单点进行编辑
在X和(或)Y轴上进行插值
半径计算
体积计算
表面积计算
截面积计算
三维轮廓显示
技术规范 扫描仪最大尺寸(长*宽*高)
| 740*542*(780-835)mm
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扫描仪最大重量
| 40Kg
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电控部分尺寸
| 570*700*750mm
|
电控部分重量
| 40Kg
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计算机显示器
| 15” LED显示器
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照明与定位摄像头(可选)
| 14” CRT
|
扫面平台尺寸
| 380*280mm
|
X和Y轴行程
| 150mm*100mm
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Z轴行程
| 100mm
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电源
| 220 - 240 VAC, 50/60Hz
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使用环境
| 10-35℃
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X及Y轴扫描点最小间隔距离
| 1μm
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X及Y轴扫描点最大间隔距离
| 9.999mm
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标准配置扫描样品最大重量
| 6Kg
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数据采集最大速度(取决于传感器及设定)
| 20000点/秒
|
最大扫描速度(取决于传感器及设定)
| 80mm/秒
|
回程速度
| 100mm/秒
|
最大扫描点数
| 576万点
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传感器选型方案 传感器 型号
| 垂直 测量范围
| 物镜测量距离 mm
| 分辨率
| 线性度 (%+/-量程)
| 技术 原理
|
S3/011
| 110μm
| 3.3
| 5 nm
| 0.1
| 白光色差技术
|
S11/03
| 300μm
| 11
| 12 nm
| 0.1
| 白光色差技术
|
S13/1.1
| 1.1 mm
| 12.7
| 25 nm
| 0.1
| 白光色差技术
|
S16/2.5
| 2.5mm
| 16.4
| 75 nm
| 0.1
| 白光色差技术
|
S29/10
| 10mm
| 29
| 280 nm
| 0.1
| 白光色差技术
|
S20/20
| 20mm
| 19.6
| 600 nm
| 0.1
| 白光色差技术
|
L25/2H
| 2 mm
| 25
| 0.1 μm
| 0.05
| 三角测量技术
|
L35/10H
| 10 mm
| 35
| 0.5 μm
| 0.03
| 三角测量技术
|
L50/20H
| 20 mm
| 50
| 1 μm
| 0.03
| 三角测量技术
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L70/50H
| 50 mm
| 70
| 2.5 μm
| 0.03
| 三角测量技术
|
各种可选项 * 照明与定位摄像头,用于小型部件的定位和缺陷检查;
* 其他各种传感器;
* 仿制材料,用于对不容易进入的区域和对表面测量有困难的场合;
* 比标准的X和Y行程范围更大的测量平台。
产品尺寸图 应用举例 一、电子元件的形貌检查 电子元件的原貌
对单个BGA的扫描结果
100%检测BGA(包括穴距)和倒装芯片的包装情况,自动分析共面性、球面高度、球的位置和包装扭曲情况;分析丝焊高度和轮廓;亚微米级分辨率,三维图形显示平均、最大和最小深度。
二、部件表面粗糙度测量 被测部件原貌
扫描后的结果分析
精确分析被测部件的表面纹理、波面度和形态特征,符合ISO和DIN的粗糙度国际参数分析标准,包括Ra、Rz、Rmax、Rq、Rvm、Rpm、Pt、Nr、D、Sm、Wt和Tpa等。可测量出平面度、表面积、体积、承载比和部件的精确尺寸。
三、纸张类表面的纹理分析 扫描前的产品原貌
扫描后的分析图
对板材类、纸张类产品的表面进行纹理和形貌特征分析,自动计算各种表面分析的参数,如Ra、Rz、Rmax、Rvm、Rpm、Sm和材料比等,测量速度快,结果准确,操作简单。
视频资料 欢迎来电索取。
样本下载 光学式表面粗糙度轮廓形貌仪2000.pdf
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(上海市光学式表面粗糙度轮廓形貌仪厂家)
供应光学式表面粗糙度轮廓形貌仪