研制出能够生长
75 mm(3
英寸
)
的单
晶炉;
1991
年,研制出能够生长
100 mm(4
的单晶炉;
1996
1 500 mm
(6
1998
年,
200 mm(8
的单晶炉,
其发展进程如图
l
所示;
到目前为止,我国的晶体生长设备
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