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单晶炉研发较早
单晶炉方面，
1961
年，二手95型单晶炉天龙，在中国科学院半导体物理所林兰英院士的亲自指导下，北京机
械学院工厂
（西安理工大学工厂的前身）
的技术人员与半导体物理所的技术人员共同研制出了我
国一台人工晶体生长设备—
TDK-36
型单晶炉，
并且成功拉制出了我国一根无位错的硅单晶，济宁二手95型单晶炉，
单晶质量接近当时的国际先进水平，
TDK-36
型单晶炉投料量只有
1kg
，拉制单晶直径
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10 半封闭双螺杆式水冷冷水机组 RSW-110-1L 昆山台佳机电有限公司 2台4 s% ^+ Z1 D) ^' y， O
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