扫描探针显微镜功能特点
1. 光机电一体化设计,外形结构简单;
2. 扫描探头和样品台集成一体,抗干扰能力强;
3. 精密激光检测及探针定位装置,光斑调节简单,操作方便;
4. 采用样品趋近探针方式,使针尖垂直于样品扫描;
5. 伺服马达手动或自动脉冲控制,驱动样品垂直接近探针,实现扫描区域精确定位;
6. 高精度大范围的样品移动装置,可自由移动感兴趣的样品扫描区域;
7. 高精度大范围的压电陶瓷扫描器,根据不同精度和扫描范围要求选择;
8. 自由变倍的CCD观测系统,实时观测与定位探针扫描样品区域;
9. 采用伺服马达控制CCD对焦和光学放大;
10. 模块化的电子控制系统设计,便于电路的持续改进与维护;
集成多种扫描工作模式控制电路,配合软件系统使用。
友好的软件界面及操作功能
1. 多通道图像同步采集显示,实时查看剖面图;
2. 多种曲线力-间距(F-Z)、频率-RMS(f-RMS)、RMS-间隙(RMS-Z)测量功能;
3. 可进行扫描区域偏移、剪切功能,任意选择感兴趣的样品区域;
4. 可任意选择样品起始扫描角度;
5. 激光光斑检测系统的实时调整功能;
6. 针尖共振峰自动和手动搜索功能;
7. 可任意定义扫描图像的色板功能;
8. 支持样品倾斜线平均、偏置实时校正功能;
9. 支持扫描器灵敏度校正和电子学控制器自动校正;