三温区PECVD镀膜设备

名称

规格

产品名称

PECVE智能一体机

显示模式

7"真彩触摸屏液晶显示（LCD）

温度曲线

30段"时间—温度曲线"任意可设

预存曲线

可预存15条温度曲线

操作界面

图形界面提示,触摸屏输入

温度曲线

实时监控，动态显示“时间-温度曲线”

超温报警

有

断偶提示

有

测温元件

S型热电偶

升温速率

0-30 ℃/min

工作电源

AC380V /50HZ

整机功率

12KW

最高温度

1400℃

长期工作温度

1350℃

加热区域

三个加热区域

控温方式

模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，

质量流量计：四路

型号采用D07-7及对应显示仪表

气体种类

氢气：200sccm氮气：750 sccm氩气：300 sccm

射频电源

功率500w，频率：13.56MHz

真空计

测量范围0.01-100000Pa

真空泵

TRP-36

真空度

5Pa

手持式测温仪

S型热电偶 长度500mm

刚玉管

100*2000

石英管

100*2000

石英管

80*2000

软件功能

1：加热温区移动速度触摸屏可以调节。

2：射频电源开启时间，可以设定，时间到后自动停止射频电源。

3：自动切换气体功能，（不同温度通入不同气体，或者根据要

求进行定做）。

4：自动检测真空度，根据真空度的大小，自动启动射频电源。

5：真空泵自动启动，根据真空度，系统自动判断是否需要启动

真空泵。

6：其他功能根据要求定做.

包装模式

三合板木质包装箱

随机配件

石英舟3只;刚玉坩埚3只；炉钩一个;高温手套一套;随机工具;说明书1份;。