P15 压电扫描台是快速、高精度的三轴扫描和纳米定位台,具有非常高的直线度。中心通孔 66×66mm,非常适于透射光应用,如近场扫描或共焦显微镜和掩模定位。P15 压电扫描台运动行程为300μm/ 轴,它的内部采用有限元分析(FEA)优化的线切割挠曲铰链结构。 FEA 使其设计具有尽可能高的刚度,并使线性和角度跳动最小化。
特点:
三维运动
行程范围为 300μm/ 轴
可选配闭环传感器
无摩擦、高精度挠性导向系统
扫描平整度高
通孔尺寸 66×66mm
技术参数:
尺寸图: