铼单晶空心叶片烧结常用炉叶片烧结真空炉

真空保护高温烧结炉

（四）设备技术参数：

1.设备型号： VF1600-5060

2.炉膛工作尺寸： 600*500mm（L*?）

3.加热区尺寸：500×400mm（L×?）

4.电源电压：AC 380V,  50/60Hz

5.加热功率：65KW

6.设备总功率：75Kw

7.设备大约尺寸： 

8.占地面积： 约5 m2   

9.设备重量：约1360Kg

10.控制中枢：液晶触摸屏 ，可预设多达百条工艺程序，并可编辑不同中英文工艺名称，需要时直接调用，互不干扰，无需重复修改参数 

11.控温精度 ：控温精度±1℃

12.极限温度：1600℃

13.常用温度：≤1500℃

（一）设备用途与说明：

烧结：单晶叶片，涡轮叶片，铼单晶空心叶片，涡轮发动机单晶叶片，镍铁合金叶片，退回回火

烧结是在真空或气氛状态下对材料进行烧制或把粉末颗粒的体变成为晶粒的聚结体，从而获得所需的物理、机械性能的制品或材料。烧结工艺可以有效减少气氛中有害成分（水、氧、氮）对产品的不良影响，稳定气氛环境下，不易渗碳和脱碳；此外真空或气氛环境可改善液相对固相的润湿性，有利于收缩和改善材料的组织，对改善产品质量作用明显。真空烧结成为材料研制方面必不可少的工艺手段。上海微行炉业针对难熔金属、过滤材料、陶瓷材料、硬质合金等行业的工艺特性来设计出各种多功能炉。而金属3D打印出来的工件不能达到关键公差要求，必须通过CNC工艺来达到一至性。3D打印与数控加工的配合，3D打印工艺通过自动化的方式与热处理，线切割，粉末清理，机加工等工艺。都离不开热处理的很多烧结工艺。

（二）、第二作用说明：IGBT模块、MEMS封装、大功率器件封装、光电器件封装、气密性封装等工艺。具有无污染、无焊剂、不产生气孔、夹渣，节约能源等特点。

（三）主要功能和特点：

1.炉型结构：立式，单室，炉体炉门采用双层水冷，顶部开门结构。由炉体、加热室、真空系统、充气系统、水冷系统、电控及供电系统组成。

2.炉膛：采用圆筒形加热室结构。隔热屏采用多层结构，各层之间采用优质刚玉陶瓷，发热体为镍铬合金电阻带，均匀环绕在隔热屏周围，实现良好的温度均匀性。具有使用寿命长、隔热保温性能好、真空放气量极少。外框使用不锈钢（310S）板材料，并且焊接多道加强筋以保证不变形。

3.加热控制：采用PID智能控温模块设计，可编辑30段升温曲线，存贮20组工艺配方，组合PLC等实现超压、超温、过流等自动报警保护功能，10寸液晶触摸屏显示操作，具有操作方便，功能强大，稳定性好等特点。

4、气路系统：保护气氛：高纯氩气。充气压力≤10KPa。手动球阀、电磁阀、防爆阀、微调阀、316L不锈钢管路、扩散硅压力传感器、电接点压力表、浮子流量计组成。系统可根据不同温度段充入不同压力的冷却气体，充气压力到达压力上限设定点可自动停止充气，超压时可自动排压，当低于压力下限设定点又可自动补气。带有一路手动，用于高温停水充气保护。

5、安 全装置：停水、超温、加热过流、旋片泵、分子泵，设备具有自检、故障自诊断、自动保护、防止误操作等功能。并具有声光报警提示和具备相应的联锁、互锁保护，自动泄压。

6、从室温到你需要的温度可以全程控制时间温度。超温保护系统：当温度失控时，超过超温保护器设定温度时，自动停止加热供电，从而保护你的产品及机器的安 全；长期使用一个温度时想温度精 确，可以随时联系我方售后解决，帮你矫正精 确的温度。

（五）、真空系统：（优点：效率高、无污染、低能耗、低噪音）

1.极限真空度： ≤6.67*10^-4Pa

2.复合真空计：壹套（微行标配）

3.复合分子泵：壹台（微行标配）

4.旋片机械泵：壹台（微行标配）

5.真空机组功率：5Kw

6.复合真空计：ZDF5227BV01 测量范围 1.0*10⁵~1.0*10^-5Pa7.

7.压升率:     ≤0.67Pa/h

（六）、气路系统：保护气氛，高纯氮气。充气压力≤10KPa。手动球阀、电磁阀、防爆阀、微调阀、316L不锈钢管路、扩散硅压力传感器、电接点压力表、浮子流量计组成。系统可根据不同温度段充入不同压力的冷却气体，充气压力到达压力上限设定点可自动停止充气，超压时可自动排压，当低于压力下限设定点又可自动补气。带有一路手动，用于高温停水充气保护。