MICHELL PURA高纯气体露点仪
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上海市
产品详情（上海市PURA高纯气体露点仪厂家）
品牌：
其他
型号：
-
加工定制：
是
量程：
-
关键词：上海市PURA高纯气体露点仪厂家
MICHELL PURA高纯气体露点仪
亮点
应用
? 测量范围低可达-120°Cdp (1ppbV)
?
高纯气
? 稳定而可重复的测量
?
半导体制造
? 模拟和数字输出
?
光纤生产
?
安装简单
?
电子元件制造
?
VCR 过程连接
?
光学镀膜工艺
? 可选的显示/报警单元
? 工业气体的生产和分销
?
设计紧凑
?
快速响应
高纯气体微量露点变送器
在许多高纯气体的应用中，如半导体行业，气体的残留水分
对于工艺操作的影响是至关重要。
根据以往的经验，微量水分测量一直是一个难题，这需要
使用复杂或昂贵的分析仪测量。现在，密析尔推出了一款
简单、经济的产品，可以在线测量露点达-120°C （小于
1ppb）。
Pura 露点变送器的优势在于密析尔阻抗传感器生产和校准
的经验和专长。工业标准材料和制造工艺结合的低成本变送
器，适用于大规模集成半导体制造厂或高纯气体管线中。
使用简单
这种独立的变送器设计成可无缝接入纯气的过程应用
中，并可提供可靠的测量结果。
Pura 的传感器外壳是由冷拉不锈钢制成，内部采用 0.25Ra
μm 电抛光技术 ，以达到小的吸湿性，洁净度达到清洁室
标准。
该变送器交付完整的校准和操作，并提供 4-20mA 的校准输
出，能够连接到密析尔的显示模块或中央控制系统。
该产品的设计具有小的内部结构。这确保了过程应用中快
的响应速度，也保证了湿度测量时的快响应速度。传感器密
封垫圈可以在小压力 10-9torr 内工作，同
(上海市PURA高纯气体露点仪厂家)
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