MICHELL 半导体行业低露点传感器
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MICHELL 半导体行业低露点传感器
上海市半导体行业低露点传感器厂家
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MICHELL 半导体行业低露点传感器


亮点
应用
? 测量范围低可达-120°Cdp (1ppbV)
?
高纯气
? 稳定而可重复的测量
?
半导体制造
? 模拟和数字输出
?
光纤生产
?
安装简单
?
电子元件制造
?
VCR 过程连接
快速响应
高纯气体微量露点变送器
在许多高纯气体的应用中,如半导体行业,气体的残留水分
对于工艺操作的影响是至关重要。
根据以往的经验,微量水分测量一直是一个难题,这需要
使用复杂或昂贵的分析仪测量。现在,密析尔推出了一款
简单、经济的产品,可以在线测量露点达-120°C (小于
1ppb)。
Pura 露点变送器的优势在于密析尔阻抗传感器生产和校准
的经验和专长。工业标准材料和制造工艺结合的低成本变送
器,适用于大规模集成半导体制造厂或高纯气体管线中。
使用简单
这种独立的变送器设计成可无缝接入纯气的过程应用
中,并可提供可靠的测量结果。
Pura 的传感器外壳是由冷拉不锈钢制成,内部采用 0.25Ra
μm 电抛光技术 ,以达到小的吸湿性,洁净度达到清洁室
标准。
该变送器交付完整的校准和操作,并提供 4-20mA 的校准输
出,能够连接到密析尔的显示模块或中央控制系统。
该产品的设计具有小的内部结构。这确保了过程应用中快
的响应速度,也保证了湿度测量时的快响应速度。传感器密

封垫圈可以在小压力 10-9torr 内工作,同


服务与校准
密析尔为想要少停机时间和设备可追溯性的用户提供以下两
种服务:
传感器替换 –用户可以签订一个有保障的合同,可以更换
传感器。当传感器出现问题时,可以把更换下来的传感器
返回密析尔检测,从而实现零停机时间。
校准 – 用户将传感器返回密析尔,密析尔会对返回的传感
器进行检查和校准。这样为过程中的传感器就可以实现可追
溯性。





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