手动测量金相显微镜工具显微镜TMM-3207智庭科技厂家直发 手动测量金相显微镜TMM-3207

1.仪器主机说明 TMM-3207是我司针对半导体行业推出的一款高性能的手动测量金相显微镜，结合公司多年影像测量和扫描的生产经验，以及自主研发的三维测量扫描软件，将设备的高性能的特点发挥到极致。 ?选用高清品牌相机，措载soptop高端金相系统，整体成像清晰无闪烁，视场开阔。 ?物镜可切换多种倍率：5x,10x,20×,50x(选配)100×(选配),最高综合倍率最高可达 2000倍以上。 ?标配反射和透射LED可程控光源或非程控卤素光源。 ?利用可变孔径光阑，可进行无衍射观察测量。 ?单视野范围内测量精度±1μm,重复精度±0.5μm加装光谱共焦位移传感器可测高度、 深度、平面度，测量精度±1μm。 ?可根据客户需求，订制各种尺寸工作台，目前最大行程可做3000*2000mm,最小行程可做 50*50mm工作台。 ?有精调/微调两种模式，便于精确聚焦和观察测量，快速定位焦面。 ?可根据客户要求加配超长工作距离APO物镜，激光测头各种规格摄像机以及更高精度光 栅等(光尺最高选配0.01μm)。 ?自主研发金相测量软件，页面简洁大气，操作方便易上手，可适高精度要求的复杂工件 测量。 2.技术参数 扫描范围 XYZ三轴移动范围（mm） 300*200*70 外形尺寸（mm） 750*570*830 玻璃台面尺寸（mm） 340*240 台面承重（kg） 25 仪器净重（kg） 180 光学影像及测量系统 光学系统 无限远平场消色差金相显微光学模组（3目） 金相显微物镜倍率 5X 10X 20X 视频总放大倍率 241.5X 483X 966X 双目目镜倍率 标配10X目镜（视场数Φ22mm），也可选配20X目镜 物方工作距离(mm) 26.1 20.2 8.8 物方视场(mm) 1.47*0.98 0.735*0.49 0.368*0.245 照明光源 上光：LED同轴落射冷光源（程控调光） 底光：LED平行冷光源（程控调光） 辅光: LED光源（程控调光） 摄像机 HIKVISION 500万像素高清彩色数字相机 示值误差（μm） 单视野 ±1 XY行程范围 2.5+L/200 重复精度（μm） 单视野 ±0.5 XY行程范围 2.5 XYZ光栅分辨力（μm） 1 扫描测量软件 ZT Vision-M (拥有自主知识产权) 其他选配件 光谱共焦位移传感器、激光位移传感器、自动变倍金相显微模组等 电脑 联想E95/G3930/4G/1T/集成 工作电源 AC200-240V ?50/60Hz? 450W（注：需有电阻≤4Ω接地线） 工作环境 温度20±2℃,? 相对湿30%-80%,振动＜0.002g，低于15Hz，?远离振源