供应气体质量流量控制器

                                                                                                                             莱峰科技荣誉出品
                              模拟式系列LF400-F（高耐压型）
气体质量流量控制器/流量计技术说明书
1、用途和特点
气体质量流量控制器（Mass Flow Controller ）/气体质量流量计(Mass Flow Meter)可以对气体的质量流量进行精密测量和控制。它在多个领域的科研和生产中有着重要而广泛的应用。
对产品性能和生产工艺的不断改进，质量流量控制器具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等（可以使用在高压及真空系统）特点。操作使用方便，可任意位置安装，配合流量显示仪或其他流量控制器显示仪使用，也可直接同计算机实现RS-232各和RS-485 连接，非常方便的实现自动控制。它也可以作为气体质量流量计使用。
 
注意：
本公司产品采用中华人民共和国电子行业标准SJ/T10583-94 以及SJ37 所规定的通用技术条件和命名方法。
质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。
质量流量的单位规定为:   SCCM (标准毫升/分);
SLM (标准升/分) 
标准状态规定为:         温度 ---273.15K ( 0℃ ); 
气压 —- 101325 Pa (760mm Hg) 
F.S (Full Scale):       满量程值 
 
主要技术指标:

功能		流量计/控制器
基本型号		LF400-F
满量程流量范围(N2)	SCCM	0～5，10，20，30，50，100，200，500
	SLM	- 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30
精度(％F.S)		±1(≤15SLM)
		±1.5(＞15SLM)
控制阀动作型式		常闭式
线性(％F.S.)		±0.5～1(≤15SLM)
		±2％(＞15SLM.)
重复精度(％F.S.)		±0.2
响应时间(sec)		≤1
流量输出信号		0-+5V,4-20MA
流量设定信号		0-+5V,4-20MA
电器接头		DB15 pin(接头),DB14 pin(接头),DB9 pin(接头)
工作环境温度	(℃)	5～45
工作压差	(MPa)	0.05～0.5
漏率	SCCSHe	1×10-9
最大耐压		10MPa
介质接触材质		316，316L

密封材料	氟橡胶，硅橡胶，丁腈橡胶，聚四氟乙烯,金属密封
接头尺寸	VCR   1/4”，1/2”
	Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm
电源要求	+15V,50mA;-15V,200mA
重量	1.2KG

LF400-F型适用于各种气体：
订货需要参数：介质  量程 入口压力  出口压力 使用压力 最大耐压   连接尺寸  包括信号是0-5V  4-20MA  RS232   RS458