上海激光调阻机

上海激光调阻机电阻修刻应用范围

上海激光调阻机

上海激光调阻机激光调阻系统及修调技术机理 　

　  上海激光调阻机激光修调是把一束聚焦的相干光在微机的控制下定位到工件上，使工件待调部分的膜层气化切除以达到规定参数或阻值。调阻时局部温升使玻璃熔化，气化部分阻值槽边缘受到玻璃覆盖，可填平基体表面被切割的介质。先进的激光修调系统应用了大量的LSI、VLSI电路，以大部分的软件操作代替许多硬件功能。核心部分是通过硬件直接与激光器、光束定位、分步重复及测量等系统相连接。测量系统由精密电桥和矩阵组合的无源网络组成。先进的激光修调系统具有多种修调功能，可以修调混合集成电路、厚薄膜电阻器网络、电容网络、瓷基薄膜集成元件，还可以修调D/A和A/D转换器的精度，V/F转换器的频率，有源滤波器的零点频率及运算放大器的失调电压等。 　　

上海激光调阻机先进的激光修调系统主要包括以下几个部分： 　　

（1） 激光器部分 　    

采用半导体激励Nd:YAG激光器，高频Q控制开关，厚膜修调最小光斑达20μm，脉冲重复频率为500Hz～50kHz。

采用光纤激光器，高单脉冲能量，最小光斑达10μm，脉冲重复频率10-100 kHz。

采用端面泵浦半导体激光器，高频Q控制开关，最小光斑达8μm，脉冲重复频率1-100KHz,高瞬间脉冲能量，厚膜修阻更静，温漂更小。

采用绿光激光器或者紫外激光器，可以加工更精密的电阻，刻线精细，其中紫外为冷加工，零温漂使电阻更稳定，效果最好。　

（2） 光束定位系统 　　

采用振镜式高速线性马达，提高定位速度和精度。 

（3） 视频监视系统     

采用光学反射系统以及高清摄像系统，融合光束和摄像为同轴，视频跟随光斑移动，便于激光定位和监视。

（4） 修调设定器

它直接与激光器、光束定位器、分步重复台及测量系统相联接。它可以通过程序改变刻蚀尺寸，改变切割的修调方向，决定阻值变化，而不影响精度。另外，还具有自动校正功能，在长期工作时可使修调设定值保持稳定。 　

（5） 阻值及电压测定装置 　　

采用精密电桥和矩阵组合的测试无源网络，阻值测量精度可达0.5％，测量时间仅为5ms。这种设计可以防止外界干扰，且由于采用差动测量，自动消除偏离及极性转换，还可用来测定有源电路修调时的直流电压。 　　

上海激光调阻机修刻方式主要有以下几种： 　

（1）单刀切割电阻法 　　

（2）双刀切割电阻法 　　

（3）L型刀口切割电阻法 　　

（4）交叉对切电阻法 　　

（5）曲线型L刀口的切法 　　

（6）曲线型U型刀口的切法 　　

在实际工作中，主要应用的是前4种，对于不同的电阻应根据其方数的不同选择不同的刀口。其中双切和L型刀口最为常用，而且调过的阻值稳定性好。

上海激光调阻机BY-DZ系列半导体激光调阻机主要技术参数

　　型号 BY-CBDZ50W

　　激光功率 50W

　　激光波长 1064nm

　　光束质量 ﹤3

　　激光重复频率 ≤1-50KHz

　　打标范围 70mm×70mm

　　修刻线速 ≤6000mm/秒

　　修刻深度 ≤0.01-1mm(使材料定)

　　电力需求 220V/单相、50HZ/10A

　　整机耗电 ≤1200W

　　整机免维护时间 10000小时

　　冷却方式 水冷却

　　结构 分体式

　　光束定位

　　类型：闭环振镜控制式扫描系统

　　修刻面积：70mmX70mm

　　分辨率：2.5μm

　　激光

　　类型：半导体侧面泵浦激光器，调制模式Nd:YAG

　　波长：1064nm

　　输出功率：50W

　　最大重复频率：50kHz

　　光学

　　典型光斑尺寸：35到55μm（70mmX70mm区域）

　　焦深：2mm，实际切口宽度与材料、光学和激光波长有关

　　校直/监视

　　校直：软件控制定位

　　照明监视：LED冷光

　　修刻区域放大：

　　最小区域大小（最大放大）：2.5mmX2mm

　　定位：软件控制定位

　　计算机

　　主机：工业控制计算机，LCD显示器

　　软件

　　ByTrim软件：

　　信号测量

　　型号：一组四探针，加电流测电压信号或直接测量电阻信号，可切换

　　转换速度：10μs

　　校准：自动软件校准

　　恒流源

　　输出范围：0.01μA~100mA计算机程控选择

　　高阻测量仪

　　测量范围：10K到1.6GΩ

　　直流电压测量

　　信号输入量程：-10V到+10V

　　信号输入阻抗：每个差分信号输入端(+端或-端）相对GND阻抗1MΩ（可更改）

信号采集采样率：93.750K、46.875K、23.437K

　　信号采集分辨率：24bit

　　电阻测量

范围：0到1K

精度：大约5‰

　　校准：自动

探针分辨率：5μm

　　上海激光调阻机工作环境要求：

　　环境温度要求在5-35℃之间，要求装空调。

　　湿度要求为40%-80%。无结露，应该安装除湿机。

　　供电电网要求：220V；50Hz

　　设备空间要求要保证无烟无尘，避免金属抛光研磨等粉尘严重的工作环境。

　　气压：86-106kpa。

　　上海激光调阻机某些环境应装防静电地板，加强屏蔽等

　　上海激光调阻机工作冷却循环水的水质有严格要求，要求使用纯净水、去离子水或蒸馏水，不可以使用自来水、矿泉水等含有较高金属离子或其他矿物质的水质。

　　上海激光调阻机适用材料和行业应用

　　上海激光调阻机适用于陶瓷厚膜电路，传感器行业，调压器行业，微电路等。

广泛应用于集成电路、电工电气、手机通信、仪表仪器、军工、航天等众多行业的产品精密调节。