供应美国MKS 979B复合真空计
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成都市

成都四洋科技有限公司

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产品详情(成都市979B复合真空计厂家)

    MKS 979系列宽量程真空计利用宽量程的微皮拉尼(10ˉ10Torr到Atm)和小型的离子规(10ˉ10到10ˉ2Torr),提供了单个真空计涵盖13个压力等级的测量范围,3个中继点,简化了系统的控制,如减小泵的抽速,分子泵的控制和阀门的触发等。


产品特点:

● 可以测量从10ˉ10Torr到大气压的13个压力等级的测量范围

● 结合了微皮拉尼的离子规复合真空计

● 可用于实时数据存取的微机电数字科技

● RS485通讯和控制

● 有3个独立的设定点切换

● 较低的功率消耗,24VDC,10W

● 快速的,准确地,可重复的压力测量减少了工艺的循环周期

● 任意安装方向而不影响读数精度

● 2个镀铱的灯丝,延长了使用寿命

● 精巧的设计很容易对真空计进行维护

● 符合欧洲CE标准


应 用:

    MKS 979复合真空计特别适用于高真空工艺,即从大气压到10ˉ10Torr,非常理想地用于PVD和离子注入工艺的较宽的循环压力变化。双传感器的设计和数 字通讯确保了在高真空镀膜应用中需要长期的稳定性和准确性,精巧的设计使979成为在半导体和工业化领域中的系统集成提供了理想的解决方案。



(成都市979B复合真空计厂家)
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