供应多晶硅高温扩散炉多晶硅高温扩散炉价格多晶硅高温扩散炉厂家

多晶硅高温扩散炉
多晶硅高温扩散炉技术规格和技术性能
根据贵公司的工艺要求，我公司技术人员特制订扩散炉、氧化炉、退火炉设计方案。具体方案见下述。
1、多晶硅高温扩散炉额定功率: 35KW，升温功率：30KW保温功率15:KW
2、多晶硅高温扩散炉电源电压: 380V
3、多晶硅高温扩散炉加热器电压: 0～100V（三相）
4、多晶硅高温扩散炉加热方式： 铁铬铝丝管型加热器三段控温加热
5、额定温度: 1200℃
6、升温速率：15℃/min
7、工作室尺寸: Φ220×600mm
8、温度均匀性和控温精度：±1℃（特殊要求±0.5℃）
9、恒温区长度：大于等于600mm（或按用户要求）
10、多晶硅高温扩散炉温控系统具有超温报警和断偶保护功能
11、多晶硅高温扩散炉温控：9段81条曲线，可由仪表单独调用，亦可通过PLC或工控机来调用，操控简便，可模拟工况温度显示过程曲线和当前状态
12、多晶硅高温扩散炉质量流量控制：由质量流量计和PLC触摸屏组成的质量流量控制系统，操作简单，控制精度高达±2﹪，可根据温度（或时间）设置阀门的开启和关闭。
13、多晶硅高温扩散炉推拉舟控制系统：（半导体生产特制此功能）由直线导轨和步进伺服控制电机组成的推拉舟执行机构在由PLC触摸屏（或PC工控机）控制下推舟准确度±1mm,且运行平稳无抖动现象。



(青岛市多晶硅高温扩散炉厂家)
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